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是真空镀膜中真空系统的工作原理是什么？
真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发。
1,粗抽泵(统称机械泵)他的排气口，直接排放到大气，但极限(能力)小。范围(1E0~大气压)。
2，罗茨泵，必须在排气口接一个机械泵，工作范围(5E-2~1000Pa),如果没达到工作范围(1000Pa)以上的真空度，运转罗茨泵，使负载大，烧坏罗茨泵的。
3，分子泵(油扩散泵)：以扩散泵为例，工作范围(1E-7Pa~5pa)，排气口压力高于5Pa(正常9E-1Pa),低于，扩散泵不起作用，还会使扩散泵油氧化。
4，粗抽阀，是机械泵开启后，开启粗抽阀。
以上就是森泰镀膜为您介绍的真空镀膜中真空系统的工作原理是什么。
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