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真空电镀掉膜有那几个方面？
发布时间：2019-06-17 11:53:26
真空电镀
时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手，可以考虑从以下几个方面排除：
1、表面清洁度
产品表面洁净度不够，可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。
2、清洗过程中的问题
镀前清洗不到位，或更换了清洗液。
3、工艺的问题
工艺参数是否有变动，在镀膜时间和电流上做适当调整。
4、靶材的问题
钛靶是否中毒，检查和更换。
5、真空腔是否漏气
进行一次捡漏。
6、产品表面氧化
氧化的原因很多，可以自行判断处理。
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